一、無塵車間級別
1級 這個級別的潔凈室主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。
10級 這個級別的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級 很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級無塵車間稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一無塵車間大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級 這個級別的潔凈室主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級 萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級 十萬級潔凈室用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。
二、潔凈室裝修要點
潔凈室的設(shè)計與一般工業(yè)廠房的裝修設(shè)計有類似之處,但也有其自身的特點,一般在其裝修設(shè)計的時候需要考慮一下幾點:
1、了解業(yè)主對于潔凈室擬生產(chǎn)的產(chǎn)品種類、使用情況,進而確定所設(shè)計潔凈室的技術(shù)要求,潔凈室設(shè)計首先要了解所設(shè)計的潔凈室的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝等。比如對于集成電路生產(chǎn)用的潔凈室,其控制對象主要是空氣中的塵埃,同時,針對不同集成電路特征尺寸及其集成度,空氣潔凈度等級、高純度物質(zhì)、防微振的要求也不同,應(yīng)參照工廠的產(chǎn)品品種確定。
2、充分了解業(yè)主擬采用的生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備情況和對工藝布局的設(shè)想,從而協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃,確定各類生產(chǎn)工序的空間潔凈度等級和各種控制參數(shù)。不管是一般工業(yè)廠房裝修設(shè)計,還是潔凈室設(shè)計,都應(yīng)該做到順應(yīng)工藝流程,盡力實現(xiàn)物流人流的順暢便捷,凈化空調(diào)系統(tǒng)配置合理、氣流流型選擇得當(dāng),潔凈廠房平面、空間布置合理,實現(xiàn)可靠經(jīng)濟運行的潔凈廠房設(shè)施。
3、為確保無塵車間內(nèi)的空氣潔凈度,潔凈室設(shè)計中涉及到的各個專業(yè)設(shè)計均應(yīng)采用妥善的、可靠的技術(shù)措施,從而減少或防止產(chǎn)生、滋生微生物,減少或阻止將微粒/微生物或可能會造成交叉污染的物料帶入潔凈室內(nèi),有效地將室內(nèi)微粒/微生物排出,以減少或防止它們滯留潔凈室內(nèi)。
三、無塵車間設(shè)計要求點
1: 動線規(guī)劃要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等,盡量縮短動線,并避免交叉,以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動線勿集中;潔凈室四周,宜設(shè)緩沖區(qū);制造裝置的出入,不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。
2: 無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100 級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級過濾器;中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用;中效空氣過濾 器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
3: 這些空氣凈化系統(tǒng)的空氣,如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時,則不能循環(huán)使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序;放射性。