為了使系統內不存在任何一點易于大量放氣的物質以及除去蒸氣壓較高的物質,必須進行徹底的處理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法，常用的真空元件清洗方法如下。
配制方法是,將重鉻酸鉀加入蒸餾水內,直到結晶不再溶化,即得到飽和溶液,量出所需的數量,然后將濃硫酸緩慢加入并不斷的攪動,即配成洗液。使用時溫度最好在100～110℃,此時溶液是透明紅色,用過多次失效后,溶液變成綠色或濘污;
玻璃活栓在使用一段時間后,常后產生漏氣,轉動困難,此時可用藥棉花醮點汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶劑完全揮發后,再涂以適當型號的真空脂密封。
一般小型金屬零件,用有機溶劑去除油污,然后烘干。對金屬零件及材料若有特殊的清潔要求,則此時的清洗方法,可按具體要求辦理,總的原則是盡量減少氣源和污染源。
